Diskussion:Novolak

-> "Novolak wird in der Regel durch einen Spin Coater auf ein Substrat aufgeschleudert und es können Resistdicken bis hin zu einigen µm erreicht werden. Für größere Schichtdicken ist Novolak ungeeignet. Dort empfiehlt sich PMMA."

Diese Aussage ist m.E. falsch. Es gibt durchaus Novolak-Systeme, die für dicke Schichten geeignet sind. Auch ist kommerziell erhältliches gelöstes PMMA nicht ohne Weiteres in dicken Schichten aufschleuderbar. (nicht signierter Beitrag von 141.52.232.84 (Diskussion | Beiträge) 13:56, 15. Aug. 2007 (CEST))