Hexachlordisilan
| Strukturformel | ||||||||||||||||
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| Allgemeines | ||||||||||||||||
| Name | Hexachlordisilan | |||||||||||||||
| Andere Namen |
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| Summenformel | (SiCl3)2 | |||||||||||||||
| Kurzbeschreibung |
farblose Flüssigkeit[1] | |||||||||||||||
| Externe Identifikatoren/Datenbanken | ||||||||||||||||
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| Eigenschaften | ||||||||||||||||
| Molare Masse | 268,89 g·mol−1 | |||||||||||||||
| Aggregatzustand |
flüssig[1] | |||||||||||||||
| Dichte |
1,562 g·cm−3 (25 °C)[1] | |||||||||||||||
| Schmelzpunkt | ||||||||||||||||
| Siedepunkt |
144–145,5 °C[1] | |||||||||||||||
| Brechungsindex |
1,475 (20 °C)[1] | |||||||||||||||
| Sicherheitshinweise | ||||||||||||||||
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| Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen (0 °C, 1000 hPa). Brechungsindex: Na-D-Linie, 20 °C | ||||||||||||||||
Hexachlordisilan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der chlorierten Silane.
Gewinnung und Darstellung
[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]Hexachlordisilan kann (wie alle Perchlorsilane SinCl2n+2 mit n = 2-6) durch Reaktion von Calciumsilicid mit Chlor bei 230 bis 250 °C gewonnen werden.[2]
Ebenfalls möglich ist die Darstellung durch Reaktion von Siliciumdichlorid oder Silicium mit Chlor.[2]
Eigenschaften
[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]Hexachlordisilan ist eine farblose, an Luft rauchende, hydrolyseempfindliche klare Flüssigkeit.[2]
Verwendung
[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]Ultrahochreines Hexachlordisilan wird in der Halbleiterindustrie für die chemische Gasphasenabscheidung von siliciumhaltigen funktionellen Schichten, bei sehr niedrigen Temperaturen, eingesetzt. Anlagen zur Herstellung stehen zum Beispiel im badischen Rheinfelden.[3] Hexachlordisilan ist Ausgangsstoff zur Erzeugung von Dodecachlorneopentasilan (Si5Cl12) und von Dodecachlorcyclohexasilane (Si6Cl12).[4][5][6] Diese beiden Verbindungen können leicht zu den entsprechenden Hydrosilanen Neopentasilan (Si5H12) und Cyclohexasilan (Si6H12) hydriert werden, welche als Präkursoren für druckbare Elektronik dienen.[7] Weiterhin wird Hexachlordisilan zur Erzeugung von Trichlorsilylanionen der Hauptgruppenelemente [E(SiCl3)n]− (E = B, C, Si, Ge, P, S) verwendet. Diese Anionen können als nicht-nukleophile oder schwach koordinierende Anionen verwendet werden.[8][9] Außerdem dienen sie als nukleophile Übertragungsreagenzien für Trichlorsilylgruppen und für Hauptgruppenelement-Ionen.[10]
Einzelnachweise
[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]- ↑ a b c d e f g Datenblatt Hexachlorodisilane, 96% bei Sigma-Aldrich, abgerufen am 4. Januar 2014 (PDF).
- ↑ a b c d Georg Brauer (Hrsg.), unter Mitarbeit von Marianne Baudler u. a.: Handbuch der Präparativen Anorganischen Chemie. 3., umgearbeitete Auflage. Band I, Ferdinand Enke, Stuttgart 1975, ISBN 3-432-02328-6, S. 669.
- ↑ Spezialchemie: Bau einer Spezialchemie-Anlage für Elektronikchips gestartet - Evonik Industries - Spezialchemie, abgerufen am 5. Januar 2014.
- ↑ Grant Urry: Systematic synthesis in the polysilane series. In: Accounts of Chemical Research. Band 3, Nr. 9, 1. September 1970, S. 306–312, doi:10.1021/ar50033a004.
- ↑ A. Kaczmarczyk, M. Millard, J.W. Nuss, G. Urry: The preparation and some properties of a new pentasilicon dodecachloride, Si5Cl12. In: Journal of Inorganic and Nuclear Chemistry. Band 26, Nr. 3, März 1964, S. 421–425, doi:10.1016/0022-1902(64)90006-5 (elsevier.com [abgerufen am 26. Dezember 2024]).
- ↑ Jan Tillmann, Frank Meyer-Wegner, Andor Nadj, Johanna Becker-Baldus, Tanja Sinke, Michael Bolte, Max C. Holthausen, Matthias Wagner, Hans-Wolfram Lerner: Unexpected Disproportionation of Tetramethylethylenediamine-Supported Perchlorodisilane Cl3SiSiCl3. In: Inorganic Chemistry. Band 51, Nr. 15, 6. August 2012, S. 8599–8606, doi:10.1021/ic301283m.
- ↑ Maik Gerwig, Uwe Böhme, Mike Friebel: Challenges in the Synthesis and Processing of Hydrosilanes as Precursors for Silicon Deposition. In: Chemistry – A European Journal. Band 30, Nr. 33, 2024, S. e202400013, doi:10.1002/chem.202400013.
- ↑ Elke Fritz-Langhals, Sven Werge, Sotirios Kneissl, Phillip Piroutek: Novel Si(II)+ and Ge(II)+ Compounds as Efficient Catalysts in Organosilicon Chemistry: Siloxane Coupling Reaction. In: Organic Process Research & Development. Band 24, Nr. 8, 21. August 2020, S. 1484–1495, doi:10.1021/acs.oprd.0c00214.
- ↑ Marian Olaru, Maxie F. Hesse, Elena Rychagova, Sergey Ketkov, Stefan Mebs, Jens Beckmann: The Weakly Coordinating Tris(trichlorosilyl)silyl Anion. In: Angewandte Chemie International Edition. Band 56, Nr. 52, 2017, S. 16490–16494, doi:10.1002/anie.201710416.
- ↑ Uwe Böhme, Sophie Riedel: Trichlorosilyl Anions of p-Block Elements – New Applications for Simple Molecules. In: European Journal of Inorganic Chemistry. Band 2022, Nr. 32, 2022, S. e202200571, doi:10.1002/ejic.202200571.