Wolframdisilicid

Strukturformel
_ W 0 _ Si
Allgemeines
Name	Wolframdisilicid
Andere Namen	Wolframsilicid (mehrdeutig)
Summenformel	WSi2
Kurzbeschreibung	blau grauer Feststoff
Externe Identifikatoren/Datenbanken
CAS-Nummer 12039-88-2 EG-Nummer 234-909-0 ECHA-InfoCard 100.031.723 PubChem 16212546 Wikidata Q414364
Eigenschaften
Molare Masse	240,01 g·mol−1
Aggregatzustand	fest
Dichte	9,3 g·cm−3
Schmelzpunkt	2160 °C
Löslichkeit	nahezu unlöslich in Wasser
Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung keine GHS-Piktogramme H- und P-Sätze H: keine H-Sätze P: keine P-Sätze
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen (0 °C, 1000 hPa).

Wolframdisilicid ist eine anorganische chemische Verbindung des Wolframs aus der Gruppe der Silicide. Neben diesem existiert noch das Pentawolframtrisilicid W₅Si₃.

Gewinnung und Darstellung

Wolframdisilicid kann durch Reaktion von Monosilan, Dichlorsilan oder Disilan mit Wolframhexafluorid gewonnen werden.

$\mathrm {2\ SiH_{4}+WF_{6}\longrightarrow WSi_{2}+6\ HF+H_{2}}$

$\mathrm {2\ SiH_{2}Cl_{2}+WF_{6}+3\ H_{2}\longrightarrow WSi_{2}+6\ HF+2\ HCl}$

$\mathrm {Si_{2}H_{6}+WF_{6}\longrightarrow WSi_{2}+6\ HF}$

Eigenschaften

Wolframdisilicid ist ein blau grauer Feststoff, der unlöslich in Wasser ist. Er besitzt eine tetragonale Kristallstruktur vom Calciumcarbid bzw. Molybdändisilicid-Typ mit der Raumgruppe I4/mmm (Raumgruppen-Nr. 139)Vorlage:Raumgruppe/139.

Verwendung

Wolframdisilicid wird als Kontaktmaterial in der Mikroelektronik verwendet und per chemische Gasphasenabscheidung (CVD) abgeschieden.